如今精密實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測(cè)量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對(duì)隔離的設(shè)備儀器對(duì)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測(cè)量時(shí)非常重要的。能夠固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等的精密光學(xué)平臺(tái)也成為科研實(shí)驗(yàn)中的產(chǎn)品。精密光學(xué)平臺(tái)最主要的一個(gè)目標(biāo)是消除平臺(tái)上任意兩個(gè)以上部件之間的相對(duì)位移。
精密光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測(cè)等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中。那么光學(xué)平臺(tái)的測(cè)試方法是怎樣的呢?
1、阻尼:光學(xué)平臺(tái)或面包板最重要的特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的,因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大,從而將振動(dòng)強(qiáng)度最小化。平臺(tái)和面包板會(huì)在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動(dòng)。為了改善性能,每種尺寸的平臺(tái)和面包板的阻尼效果都需要進(jìn)行優(yōu)化。
2、柔量:精密光學(xué)平臺(tái)泛使用的振動(dòng)響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯(cuò)位與所施加外力的比值。在動(dòng)態(tài)變化力(振動(dòng))的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯(cuò)位)與振動(dòng)力振幅的比值。平臺(tái)的任意撓度都可以通過安裝在平臺(tái)表面的部件相對(duì)位置變化表現(xiàn)出來。因此,根據(jù)定義,柔量值越小,光學(xué)平臺(tái)就越接近設(shè)計(jì)的首要目標(biāo):將撓度最小化。柔量是與頻率相關(guān)的,其測(cè)量單位為沒單位力的錯(cuò)位量(米/牛頓)。
3、測(cè)量方法:用脈沖錘對(duì)平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測(cè)量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對(duì)合成振動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。探測(cè)器發(fā)出的信號(hào)通過分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過程中,對(duì)平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;但是,平臺(tái)四個(gè)角上的柔量往往都是的。因此公司發(fā)布的柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過平傳感器在臺(tái)四個(gè)角上測(cè)得的,因此說明了最不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。
4、單測(cè)數(shù)據(jù):產(chǎn)品都需經(jīng)過獨(dú)立測(cè)試,并附帶一份單獨(dú)的測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告和柔量曲線。這樣一來,就可以提供比采用單一尺寸柔量曲線表示所有產(chǎn)品特性的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)更數(shù)據(jù)。柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過平傳感器在臺(tái)四個(gè)角上測(cè)得的,因此說明了最不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。
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